TY  - RPRT
TI  - High aspect ratio silicon structures by Displacement Talbot lithography and Bosch etching
AU  - Konstantins Jefimovs
AU  - Lucia Romano
AU  - Joan Vila-Comamala
AU  - Matias Kagias
AU  - Zhentian Wang
AU  - Li Wang
AU  - Christian Dais
AU  - Harun Solak
AU  - Marco Stampanoni
PY  - 2018
DO  - 10.1117/12.2258007
UR  - https://arxiv.org/abs/1810.13156
ID  - 1810.13156
ER  -