TY  - RPRT
TI  - MOVPE growth of nitrogen- and aluminum-polar AlN on 4H-SiC
AU  - J. Lemettinen
AU  - H. Okumura
AU  - I. Kim
AU  - M. Rudzinski
AU  - J. Grzonka
AU  - T. Palacios
AU  - S. Suihkonen
PY  - 2018
DO  - 10.1016/j.jcrysgro.2018.02.020
UR  - https://arxiv.org/abs/1811.03534
ID  - 1811.03534
ER  -