TY  - RPRT
TI  - High-Precision Contactless Optical 3D-Metrology of Silicon Sensors
AU  - E. Lavrik
AU  - I. Panasenko
AU  - S. Mehta
AU  - U. Frankenfeld
AU  - H. R. Schmidt
PY  - 2018
DO  - 10.1016/j.nima.2019.04.039
UR  - https://arxiv.org/abs/1812.00917
ID  - 1812.00917
ER  -