TY  - RPRT
TI  - Investigation of the quality of an As35S65 grating by spectroscopic ellipsometry
AU  - Roman Antos
AU  - Jan Mistrik
AU  - Karel Palka
AU  - Stanislav Slang
AU  - Josef Navratil
AU  - Jaroslav Hamrle
AU  - Martin Veis
AU  - Miroslav Vlcek
PY  - 2018
UR  - https://arxiv.org/abs/1812.08687
ID  - 1812.08687
ER  -