TY  - RPRT
TI  - Uncertainty evalutation through data modelling for dimensional nanoscale measurements
AU  - J. Pétry
AU  - B. De Boeck
AU  - N. Sebaihi
AU  - M. Coenegrachts
AU  - T. Caebergs
AU  - M. Dobre
PY  - 2018
UR  - https://arxiv.org/abs/1812.09157
ID  - 1812.09157
ER  -