TY - RPRT TI - Thermal stability of Te-hyperdoped Si: Atomic-scale correlation of the structural, electrical and optical properties AU - Mao Wang AU - R. Hubner AU - Chi Xu Yufang Xie AU - Y. Berencen AU - R. Heller AU - L. Rebohle AU - M. Helm AU - S. Prucnal AU - Shengqiang Zhou PY - 2019 DO - 10.1103/physrevmaterials.3.044606 UR - https://arxiv.org/abs/1901.01084 ID - 1901.01084 ER -