TY  - RPRT
TI  - Compositional dependence of epitaxial Tin+1SiCn MAX-phase thin films grown from a Ti3SiC2 compound target
AU  - Martin Magnusona
AU  - Lina Tengdelius
AU  - Grzegorz Greczynski
AU  - Fredrik Eriksson
AU  - Jens Jensen
AU  - Jun Lu
AU  - Mattias Samuelsson
AU  - Per Eklund
AU  - Lars Hultman
AU  - Hans Högberg
PY  - 2019
DO  - 10.1116/1.5065468
UR  - https://arxiv.org/abs/1901.05904
ID  - 1901.05904
ER  -