TY  - RPRT
TI  - Enhancing Interconnect Reliability and Performance by Converting Tantalum to 2D Layered Tantalum Sulfide at Low Temperature
AU  - Chun-Li Lo
AU  - Massimo Catalano
AU  - Ava Khosravi
AU  - Wanying Ge
AU  - Yujin Ji
AU  - Dmitry Y. Zemlyanov
AU  - Luhua Wang
AU  - Rafik Addou
AU  - Yuanyue Liu
AU  - Robert M. Wallace
AU  - Moon J. Kim
AU  - Zhihong Chen
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1901.08143
ID  - 1901.08143
ER  -