TY  - RPRT
TI  - Development of transmon qubits solely from optical lithography on 300mm wafers
AU  - N. Foroozani
AU  - C. Hobbs
AU  - C. C. Hung
AU  - S. Olson
AU  - D. Ashworth
AU  - E. Holland
AU  - M. Malloy
AU  - P. Kearney
AU  - B. O'Brien
AU  - B. Bunday
AU  - D. DiPaola
AU  - W. Advocate
AU  - T. Murray
AU  - P. Hansen
AU  - S. Novak
AU  - S. Bennett
AU  - M. Rodgers
AU  - B. Baker-O'Neal
AU  - B. Sapp
AU  - E. Barth
AU  - J. Hedrick
AU  - R. Goldblatt
AU  - S. S. Papa Rao
AU  - K. D. Osborn
PY  - 2019
DO  - 10.1088/2058-9565/ab0ca8
UR  - https://arxiv.org/abs/1902.08501
ID  - 1902.08501
ER  -