TY  - RPRT
TI  - Particle dynamics in deposition of porous films with a pulsed radio-frequency atmospheric pressure glow discharge
AU  - Y. Xu
AU  - S. A. Khrapak
AU  - K. Ding
AU  - M. Schwabe
AU  - J. -J. Shi
AU  - J. Zhang
AU  - C. -R. Du
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1903.09379
ID  - 1903.09379
ER  -