TY  - RPRT
TI  - Predicting Time-to-Failure of Plasma Etching Equipment using Machine Learning
AU  - Anahid Jalali
AU  - Clemens Heistracher
AU  - Alexander Schindler
AU  - Bernhard Haslhofer
AU  - Tanja Nemeth
AU  - Robert Glawar
AU  - Wilfried Sihn
AU  - Peter De Boer
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1904.07686
ID  - 1904.07686
ER  -