TY  - RPRT
TI  - Improving mobility of silicon metal-oxide-semiconductor devices for quantum dots by high vacuum activation annealing
AU  - Ke Wang
AU  - Hai-Ou Li
AU  - Gang Luo
AU  - Xin Zhang
AU  - Fang-Ming Jing
AU  - Rui-Zi Hu
AU  - Yuan Zhou
AU  - He Liu
AU  - Gui-Lei Wang
AU  - Gang Cao
AU  - Ming Xiao
AU  - Hong-Wen Jiang
AU  - Guo-Ping Guo
PY  - 2020
DO  - 10.1209/0295-5075/130/27001
UR  - https://arxiv.org/abs/1905.01581
ID  - 1905.01581
ER  -