TY  - RPRT
TI  - Nanowire single-photon detectors made of atomic layer-deposited niobium nitride
AU  - Emanuel Knehr
AU  - Artem Kuzmin
AU  - Mario Ziegler
AU  - Steffen Doerner
AU  - Konstantin Ilin
AU  - Michael Siegel
AU  - Ronny Stolz
AU  - Heidemarie Schmidt
PY  - 2019
DO  - 10.1088/1361-6668/ab48d7
UR  - https://arxiv.org/abs/1906.05214
ID  - 1906.05214
ER  -