TY - RPRT TI - Demonstration of a-Si metalenses on a 12-inch glass wafer by CMOS-compatible technology AU - Ting Hu AU - Qize Zhong AU - Nanxi Li AU - Yuan Dong AU - Yuan Hsing Fu AU - Zhengji Xu AU - Dongdong Li AU - Vladimir Bliznetsov AU - Keng Heng Lai AU - Shiyang Zhu AU - Qunying Lin AU - Yuandong Gu AU - Navab Singh AU - Dim-Lee Kwong PY - 2019 UR - https://arxiv.org/abs/1906.11764 ID - 1906.11764 ER -