TY - RPRT TI - First demonstration of 200, 100, and 50 um pitch Resistive AC-Coupled Silicon Detectors (RSD) with 100% fill-factor for 4D particle tracking AU - M. Mandurrino AU - R. Arcidiacono AU - M. Boscardin AU - N. Cartiglia AU - G. F. Dalla Betta AU - M. Ferrero AU - F. Ficorella AU - L. Pancheri AU - G. Paternoster AU - F. Siviero AU - M. Tornago PY - 2019 DO - 10.1109/led.2019.2943242 UR - https://arxiv.org/abs/1907.03314 ID - 1907.03314 ER -