TY  - RPRT
TI  - Silicon Hard-Stop Spacers for 3D Integration of Superconducting Qubits
AU  - Bethany M. Niedzielski
AU  - David K. Kim
AU  - Mollie E. Schwartz
AU  - Danna Rosenberg
AU  - Greg Calusine
AU  - Rabi Das
AU  - Alexander J. Melville
AU  - Jason Plant
AU  - Livia Racz
AU  - Jonilyn L. Yoder
AU  - Donna Ruth-Yost
AU  - William D. Oliver
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1907.12882
ID  - 1907.12882
ER  -