TY  - RPRT
TI  - Sub-surface modifications in silicon with ultrashort pulsed lasers above 2 microns
AU  - Roland A. Richter
AU  - Nikolai Tolstik
AU  - Sebastien Rigaud
AU  - Paul Dalla Valle
AU  - Andreas Erbe
AU  - Petra Ebbinghaus
AU  - Ignas Astrauskas
AU  - Vladimir Kalashnikov
AU  - Evgeni Sorokin
AU  - Irina T. Sorokina
PY  - 2020
DO  - 10.1364/josab.396074
UR  - https://arxiv.org/abs/1907.13186
ID  - 1907.13186
ER  -