TY  - RPRT
TI  - Integration of Atomic Layer Epitaxy Crystalline Ga2O3 on Diamond for Thermal Management
AU  - Zhe Cheng
AU  - Virginia D. Wheeler
AU  - Tingyu Bai
AU  - Jingjing Shi
AU  - Marko J. Tadjer
AU  - Tatyana Feygelson
AU  - Karl D. Hobart
AU  - Mark S. Goorsky
AU  - Samuel Graham
PY  - 2019
DO  - 10.1063/1.5125637
UR  - https://arxiv.org/abs/1908.08665
ID  - 1908.08665
ER  -