TY  - RPRT
TI  - Deposition of MAX phase containing thin films from a (Ti,Zr)2AlC compound target
AU  - Clio Azina
AU  - Bensu Tunca
AU  - Andrejs Petruhins
AU  - Binbin Xin
AU  - Melike Yildizhan
AU  - Per O. Å. Persson
AU  - Jozef Vleugels
AU  - Konstantina Lambrinou
AU  - Johanna Rosén
AU  - Per Eklund
PY  - 2020
DO  - 10.1016/j.apsusc.2021.149370
UR  - https://arxiv.org/abs/1909.04097
ID  - 1909.04097
ER  -