TY  - RPRT
TI  - Reactive magnetron sputtering of tungsten target in krypton/trimethylboron atmosphere
AU  - Martin Magnuson
AU  - Lina Tengdelius
AU  - Fredrik Eriksson
AU  - Mattias Samuelsson
AU  - Esteban Broitman
AU  - Grzegorz Greczynski
AU  - Lars Hultman
AU  - Hans Högberg
PY  - 2019
DO  - 10.1016/j.tsf.2019.06.034
UR  - https://arxiv.org/abs/1909.07197
ID  - 1909.07197
ER  -