TY  - RPRT
TI  - CMOS Platform for Atomic-Scale Device Fabrication
AU  - Tomas Skeren
AU  - Nikola Pascher
AU  - Arnaud Garnier
AU  - Patrick Reynaud
AU  - Emmanuel Rolland
AU  - Aurelie Thuaire
AU  - Daniel Widmer
AU  - Xavier Jehl
AU  - Andreas Fuhrer
PY  - 2019
DO  - 10.1088/1361-6528/aad7ab
UR  - https://arxiv.org/abs/1910.00718
ID  - 1910.00718
ER  -