TY  - RPRT
TI  - Site-controlled formation of single Si nanocrystals in a buried SiO2 matrix using ion beam mixing
AU  - Xiaomo Xu
AU  - Thomas Prüfer
AU  - Daniel Wolf
AU  - Hans-Jürgen Engelmann
AU  - Lothar Bischoff
AU  - René Hübner
AU  - Karl-Heinz Heinig
AU  - Wolfhard Möller
AU  - Stefan Facsko
AU  - Johannes von Borany
AU  - Gregor Hlawacek
PY  - 2019
DO  - 10.3762/bjnano.9.267
UR  - https://arxiv.org/abs/1910.04389
ID  - 1910.04389
ER  -