TY  - RPRT
TI  - Wafer-size VO2 film prepared by water-vapor oxidant
AU  - H. Ren
AU  - B. Li
AU  - X. Zhou
AU  - S. Chen
AU  - Y. Li
AU  - C. Hu
AU  - J. Tian
AU  - G. Zhang
AU  - Y. Pan
AU  - C. Zou
PY  - 2020
DO  - 10.1016/j.apsusc.2020.146642
UR  - https://arxiv.org/abs/1910.08776
ID  - 1910.08776
ER  -