TY  - RPRT
TI  - Deep Learning Regression of VLSI Plasma Etch Metrology
AU  - Jack Kenney
AU  - John Valcore
AU  - Scott Riggs
AU  - Edward Rietman
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1910.10067
ID  - 1910.10067
ER  -