TY  - RPRT
TI  - An efficient approach to global sensitivity analysis and parameter estimation for line gratings
AU  - Nando Farchmin
AU  - Martin Hammerschmidt
AU  - Philipp-Immanuel Schneider
AU  - Matthias Wurm
AU  - Bernd Bodermann
AU  - Markus Bär
AU  - Sebastian Heidenreich
PY  - 2019
DO  - 10.1117/12.2525978
UR  - https://arxiv.org/abs/1910.14435
ID  - 1910.14435
ER  -