TY  - RPRT
TI  - Diagnostics of low-pressure hydrogen discharge created in a 13.56 MHz RF plasma reactor
AU  - J Krištof
AU  - A Annušová
AU  - M Anguš
AU  - P. Veis
AU  - X Yang
AU  - T Angot
AU  - P. Roubin
AU  - G. Cartry
PY  - 2019
DO  - 10.1088/0031-8949/91/7/074009
UR  - https://arxiv.org/abs/1911.03319
ID  - 1911.03319
ER  -