TY  - RPRT
TI  - Free-standing silicon shadow masks for transmon qubit fabrication
AU  - I. Tsioutsios
AU  - K. Serniak
AU  - S. Diamond
AU  - V. V. Sivak
AU  - Z. Wang
AU  - S. Shankar
AU  - L. Frunzio
AU  - R. J. Schoelkopf
AU  - M. H. Devoret
PY  - 2020
DO  - 10.1063/1.5138953
UR  - https://arxiv.org/abs/1911.05924
ID  - 1911.05924
ER  -