TY  - RPRT
TI  - On the Homogeneity of TiN Kinetic Inductance Detectors Produced through Atomic Layer Deposition
AU  - Israel Hernandez
AU  - Martin Makler
AU  - Juan Estrada
AU  - Clecio R. Bom
AU  - Donna Kubik
AU  - Julian Amette
AU  - Jorge Montes
AU  - Andrew Leptop
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1911.06419
ID  - 1911.06419
ER  -