TY - RPRT TI - Three-dimensional entanglement on a silicon chip AU - Liangliang Lu AU - Lijun Xia AU - Zhiyu Chen AU - Leizhen Chen AU - Tonghua Yu AU - Tao Tao AU - Wenchao Ma AU - Ying Pan AU - Xinlun Cai AU - Yanqing Lu AU - Shining Zhu AU - Xiao-Song Ma PY - 2021 DO - 10.1038/s41534-020-0260-x UR - https://arxiv.org/abs/1911.08807 ID - 1911.08807 ER -