TY  - RPRT
TI  - The refined EUV mask model
AU  - I. A. Makhotkin
AU  - M. Wu
AU  - V. Soltwisch
AU  - F. Scholze
AU  - V. Philipsen
PY  - 2019
UR  - https://arxiv.org/abs/1912.09075
ID  - 1912.09075
ER  -