TY  - RPRT
TI  - Solid-state qubits integrated with superconducting through-silicon vias
AU  - Donna-Ruth W. Yost
AU  - Mollie E. Schwartz
AU  - Justin Mallek
AU  - Danna Rosenberg
AU  - Corey Stull
AU  - Jonilyn L. Yoder
AU  - Greg Calusine
AU  - Matt Cook
AU  - Rabindra Das
AU  - Alexandra L. Day
AU  - Evan B. Golden
AU  - David K. Kim
AU  - Alexander Melville
AU  - Bethany M. Niedzielski
AU  - Wayne Woods
AU  - Andrew J. Kerman
AU  - Willam D. Oliver
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41534-020-00289-8
UR  - https://arxiv.org/abs/1912.10942
ID  - 1912.10942
ER  -