TY  - RPRT
TI  - Plasmonic Titanium Nitride via Atomic Layer Deposition: A Low-Temperature Route
AU  - Dhruv Fomra
AU  - Ray Secondo
AU  - Kai Ding
AU  - Vitaliy Avrutin
AU  - Natalia Izyumskaya
AU  - Ümit Özgür
AU  - Nathaniel Kinsey
PY  - 2019
DO  - 10.1063/1.5130889
UR  - https://arxiv.org/abs/2001.05063
ID  - 2001.05063
ER  -