TY  - RPRT
TI  - A versatile and compact high-intensity electron beam for multi-kGy irradiation in nano or micro-electronic devices
AU  - F. Gobet
AU  - J. Gardelle
AU  - M. Versteegen
AU  - L. Courtois
AU  - S. Leblanc
AU  - V. Méot
PY  - 2020
DO  - 10.1063/1.5141476
UR  - https://arxiv.org/abs/2001.10034
ID  - 2001.10034
ER  -