TY  - RPRT
TI  - Low Thermal Budget High-k/Metal Surface Gate for Buried Donor-Based Devices
AU  - Evan M. Anderson
AU  - DeAnna M. Campbell
AU  - Leon N. Maurer
AU  - Andrew D. Baczewski
AU  - Michael T. Marshall
AU  - Tzu-Ming Lu
AU  - Ping Lu
AU  - Lisa A. Tracy
AU  - Scott W. Schmucker
AU  - Daniel R. Ward
AU  - Shashank Misra
PY  - 2020
DO  - 10.1088/2515-7639/ab953b
UR  - https://arxiv.org/abs/2002.09075
ID  - 2002.09075
ER  -