TY  - RPRT
TI  - Atomic Precision Advanced Manufacturing for Digital Electronics
AU  - Daniel R. Ward
AU  - Scott W. Schmucker
AU  - Evan M. Anderson
AU  - Ezra Bussmann
AU  - Lisa Tracy
AU  - Tzu-Ming Lu
AU  - Leon N. Maurer
AU  - Andrew Baczewski
AU  - Deanna M. Campbell
AU  - Michael T. Marshall
AU  - Shashank Misra
PY  - 2020
DO  - 10.31399/asm.edfa.2020-1.p004
UR  - https://arxiv.org/abs/2002.11003
ID  - 2002.11003
ER  -