TY - RPRT TI - A chip-scale oscillation-mode optomechanical inertial sensor near the thermodynamical limits AU - Yongjun Huang AU - Jaime Gonzalo Flor Flores AU - Ying Li AU - Wenting Wang AU - Di Wang AU - Noam Goldberg AU - Jiangjun Zheng AU - Mingbin Yu AU - Ming Lu AU - Michael Kutzer AU - Daniel Rogers AU - Dim-Lee Kwong AU - Layne Churchill AU - Chee Wei Wong PY - 2020 UR - https://arxiv.org/abs/2003.02767 ID - 2003.02767 ER -