TY  - RPRT
TI  - A Study of Selectively Digital Etching Silicon-Germanium with Nitric and Hydrofluoric Acids
AU  - Chen Li
AU  - Huilong Zhu
AU  - Yongkui Zhang
AU  - Xiaogen Yin
AU  - Kunpeng Jia
AU  - Junjie Li
AU  - Guilei Wang
AU  - Zhenzhen Kong
AU  - Anyan Du
AU  - Tengzhi Yang
AU  - Liheng Zhao
AU  - Lu Xie
AU  - Xuezheng Ai
AU  - Shishuai Ma
AU  - Yangyang Li
AU  - Henry H. Radamson
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2003.03529
ID  - 2003.03529
ER  -