TY  - RPRT
TI  - Manufacture and Characterization of Graphene Membranes with Suspended Silicon Proof Masses for MEMS and NEMS Applications
AU  - Xuge Fan
AU  - Anderson D. Smith
AU  - Fredrik Forsberg
AU  - Stefan Wagner
AU  - Stephan Schröder
AU  - Sayedeh Shirin Afyouni Akbari
AU  - Andreas C. Fischer
AU  - Luis Guillermo Villanueva
AU  - Mikael Östling
AU  - Max C. Lemme
AU  - Frank Niklaus
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41378-019-0128-4
UR  - https://arxiv.org/abs/2003.07247
ID  - 2003.07247
ER  -