TY  - RPRT
TI  - Suspended graphene membranes with attached silicon proof masses as piezoresistive NEMS accelerometers
AU  - Xuge Fan
AU  - Fredrik Forsberg
AU  - Anderson D. Smith
AU  - Stephan Schröder
AU  - Stefan Wagner
AU  - Mikael Östling
AU  - Max C. Lemme
AU  - Frank Niklaus
PY  - 2020
DO  - 10.1021/acs.nanolett.9b01759
UR  - https://arxiv.org/abs/2003.08296
ID  - 2003.08296
ER  -