TY  - RPRT
TI  - Sensitive capacitive pressure sensors based on graphene membrane arrays
AU  - Makars Šiškins
AU  - Martin Lee
AU  - Dominique Wehenkel
AU  - Richard van Rijn
AU  - Tijmen W. de Jong
AU  - Johannes R. Renshof
AU  - Berend C. Hopman
AU  - Willemijn S. J. M. Peters
AU  - Dejan Davidovikj
AU  - Herre S. J. van der Zant
AU  - Peter G. Steeneken
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2003.08869
ID  - 2003.08869
ER  -