TY  - RPRT
TI  - High frequency mechanical excitation of a silicon nanostring with piezoelectric aluminum nitride layers
AU  - A. Pitanti
AU  - T. Makkonen
AU  - M. F. Colombano
AU  - S. Zanotto
AU  - L. Vicarelli
AU  - M. Cecchini
AU  - A. Griol
AU  - D. Navarro-Urrios
AU  - C. Sotomayor-Torres
AU  - A. Martinez
AU  - J. Ahopelto
PY  - 2020
DO  - 10.1103/physrevapplied.14.014054
UR  - https://arxiv.org/abs/2003.11977
ID  - 2003.11977
ER  -