TY  - RPRT
TI  - Epitaxial metals for interconnects beyond Cu
AU  - Katayun Barmak
AU  - Sameer Ezzat
AU  - Ryan Gusle
AU  - Atharv Jog
AU  - Sit Kerdsongpanya
AU  - Asim Khanya
AU  - Erik Milosevic
AU  - William Richardson
AU  - Kadir Sentosun
AU  - Amirali Zangiabadi
AU  - Daniel Gall
AU  - William E. Kaden
AU  - Eduardo R. Mucciolo
AU  - Patrick K. Schelling
AU  - Alan C. West
AU  - Kevin R. Coffey
PY  - 2020
DO  - 10.1116/6.0000018
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.00971
ID  - 2004.00971
ER  -