TY  - RPRT
TI  - Atomic Layer Deposition of SiO$_2$-GeO$_2$ multilayers
AU  - Jordi Antoja-Lleonart
AU  - Silang Zhou
AU  - Kit de Hond
AU  - Gertjan Koster
AU  - Guus Rijnders
AU  - Beatriz Noheda
PY  - 2020
DO  - 10.1063/5.0009844
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.02622
ID  - 2004.02622
ER  -