TY  - RPRT
TI  - High-Q Nanophotonic Resonators on Diamond Membranes using Templated Atomic Layer Deposition of TiO2
AU  - Amy Butcher
AU  - Xinghan Guo
AU  - Robert Shreiner
AU  - Nazar Delegan
AU  - Kai Hao
AU  - Peter J. Duda III
AU  - David D. Awschalom
AU  - F. Joseph Heremans
AU  - Alexander A. High
PY  - 2020
DO  - 10.1021/acs.nanolett.0c01467
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.03532
ID  - 2004.03532
ER  -