TY  - RPRT
TI  - Fabrication process and failure analysis for robust quantum dots in silicon
AU  - J. P. Dodson
AU  - Nathan Holman
AU  - Brandur Thorgrimsson
AU  - Samuel F. Neyens
AU  - E. R. MacQuarrie
AU  - Thomas McJunkin
AU  - Ryan H. Foote
AU  - L. F. Edge
AU  - S. N. Coppersmith
AU  - M. A. Eriksson
PY  - 2020
DO  - 10.1088/1361-6528/abb559
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.05683
ID  - 2004.05683
ER  -