TY  - RPRT
TI  - Metastable atomic layer deposition: 3D self-assembly towards ultra dark materials
AU  - Mario Ziegler
AU  - Andre Dathe
AU  - Kilian Pollok
AU  - Falko Langenhorst
AU  - Uwe Huebner
AU  - Dong Wang
AU  - Peter Schaaf
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.09869
ID  - 2004.09869
ER  -