TY  - RPRT
TI  - Nanolaminated Al2O3/HfO2 dielectrics for silicon carbide based devices
AU  - Raffaella Lo Nigro
AU  - Emanuela Schilirò
AU  - Patrick Fiorenza
AU  - Fabrizio Roccaforte
PY  - 2021
DO  - 10.1116/1.5134662
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.10988
ID  - 2004.10988
ER  -