TY  - RPRT
TI  - Suspended photonic crystal membranes in AlGaAs heterostructures for integrated multi-element optomechanics
AU  - Sushanth Kini Manjeshwar
AU  - Karim Elkhouly
AU  - Jamie M. Fitzgerald
AU  - Martin Ekman
AU  - Yanchao Zhang
AU  - Fan Zhang
AU  - Shu Min Wang
AU  - Philippe Tassin
AU  - Witlef Wieczorek
PY  - 2020
DO  - 10.1063/5.0012667
UR  - https://arxiv.org/abs/2004.12454
ID  - 2004.12454
ER  -