TY  - RPRT
TI  - Efficient Bayesian inversion for shape reconstruction of lithography masks
AU  - Nando Farchmin
AU  - Martin Hammerschmidt
AU  - Philipp-Immanuel Schneider
AU  - Matthias Wurm
AU  - Bernd Bodermann
AU  - Markus Bär
AU  - Sebastian Heidenreich
PY  - 2020
DO  - 10.1117/1.jmm.19.2.024001
UR  - https://arxiv.org/abs/2005.05164
ID  - 2005.05164
ER  -