TY  - RPRT
TI  - Transition metal nitride thin films deposited at CMOS compatible temperatures for tunable optoelectronic and plasmonic devices
AU  - Ryan Bower
AU  - Daniel A. L. Loch
AU  - Andrey Berenov
AU  - Bin Zou
AU  - Papken Eh. Hovsepian
AU  - Arutiun P. Ehiasarian
AU  - Peter K. Petrov
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2005.05185
ID  - 2005.05185
ER  -